推荐 Gigaphoton推出两款全新激光光源

2月21日, 日本半导体光刻光源制造商Gigaphoton株式会社宣布,将在其ArF和KrF产品线中增加两款新光源,包括采用新技术的ArF浸没式激光器“GT66A”以及KrF激光器“G60K”。 [更多]

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日本 半导体 光源
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