推荐 麻省理工开发“远程外延”工艺制备超薄复合氧化物单晶层

美国麻省理工学院开发出“远程外延”工艺,有望应用于开发下一代半导体器件和柔性电子产,新工艺克服了传统外延工艺中新氧化层必须与底层原子结构严格适配的挑战。 [更多]

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麻省理工 半导体 超薄单晶层

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